CZA-4N-2 型超高纯净化机（前置双吸附工作塔 + 后置高温合金除氮塔）
超高纯净化机（除N₂型） CZA-4N-2
攻克常规净化机无法脱除惰性气体中氮杂质的行业痛点，残余氮低至 0.5 ppm。
技术规格
下载手册PDF · 573 KB适用气体
Ar（氩）
输出纯气纯度
≥ 99.999%（最大输出能力 ≤ 4 m³/h，大流量可定制）
原料气体要求
普通纯氩纯度 ≥ 99.9%；允许杂质 O₂ ≤ 1000 ppm，N₂ ≤ 200 ppm，H₂O ≤ 1000 ppm（露点 < -20℃）
残余氧 / 氮含量
O₂ ≤ 1 ppm；N₂ ≤ 0.5 ppm
输出其他杂质
露点 ≤ -72℃；CO + CO₂ ≤ 0.1 ppm；S 的氧化物 ≤ 0.1 ppm
尘埃粒子控制
≥ 0.3 μm 固体颗粒物 ≤ 3 ~ 5 个/升（电子级）
工作压力 / 温度
≤ 0.8 MPa；工作塔室温运行，再生温度 350~380℃
除氮塔温度 / 再生耗气
500 ~ 700℃ / 再生用氩气量 0.6 L/min
电源及再生功耗
AC 220V，再生时 2.4 kW
外形尺寸 / 重量
470 × 660 × 1220 mm / 110 kg
