正面触控视图
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CZA-4ZT 系列全自动净化机（正视斜面触摸屏与流线圆筒机柜）
全自动净化机 CZA-4ZT
打破传统工业柜体设计的新一代模块化全自动气体纯化平台，无人值守连续高纯供气。
技术规格
适用气体
Ar（氩）、N₂（氮）、H₂（氢）、O₂（氧）
原气纯度要求
≥ 99.9%（一般瓶装气体或较好管道气体）
原气允许杂质
O₂ ≤ 1000 ppm，H₂O ≤ 1000 ppm
输出纯气纯度
≥ 99.9998%
输出残余氧 / 水
O₂ ≤ 0.5 ppm；H₂O ≤ 2 ppm（露点 ≤ -72℃）
输出其他杂质
CO + CO₂ ≤ 0.1 ppm；S、P 氧化物 ≤ 0.1 ppm
尘埃粒子控制
粒径 ≥ 0.3 μm 固体颗粒物 3 ~ 5 个/升
工作压力范围
0.1 ~ 1.0 MPa
额定处理气量
1 ~ 200 Nm³/h（可根据客户工况定制）
