五气种柱体
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CJX-YDG 系列不锈钢终端气体净化柱（Ar / N₂ / 空气 / He / H₂ 五气种）
气体净化柱 CJX-YDG 系列
管路终端复合纯化柱，进入精密仪器前的最后一步精净化，支持返厂再生循环使用。
技术规格
适用气体
N₂（氮） / H₂（氢） / Ar（氩） / He（氦） / 空气（五气种专属柱型）
标准流量规格
5 / 10 / 20 / 30 / 50 L/min（1~50 L/min 及更多流量可定制）
原气要求
纯度 > 99.9%；O₂ < 500 ppm，H₂O < 500 ppm
最高工作压力
≤ 10 MPa（多压力等级可选）
输出纯气指标
纯度 > 99.9999%；O₂ ≤ 0.5 ppm；H₂O ≤ 1 ppm（即露点 ≤ -76℃）；CO + CO₂ ≤ 0.1 ppm；尘埃粒子数（≥ 0.3 μm）3 ~ 5 个/升
