额定流量(以 CZA-4C 为例)≤ 4 Nm³/h(全系 1~200 Nm³/h 可定制)
电源功率220V / 50Hz / 10A · 1.6 kW
外形尺寸 / 重量440 × 560 × 1220 mm / 120 kg
原气要求纯度 ≥ 99.9%;允许杂质 O₂ < 1000 ppm,H₂O < 1000 ppm
输出纯气指标纯度 ≥ 99.9998%;O₂ ≤ 0.5 ppm,H₂O ≤ 2 ppm(露点 ≤ -72℃),CO+CO₂ ≤ 0.1 ppm,S、P 氧化物 ≤ 0.1 ppm,尘埃粒子(≥0.3μm)3~5 个/升;工作压力 0.1~1.0 MPa
型号序列CZA-B手动切换 · 一用一备
CZA-C半自动 · 一键自动升温恒温再生
CZA-D手动单式 · 停机再生,适合间歇用气
CZA-Z全自动切换与再生 · 一用一备