氟化氘（DF）化学激光器配套服务

面向 DF 化学激光器的氟化氘介质工况，承担谐振腔、喷管等特种结构件的精密加工与表面氟化钝化处理，关键配合面与流道按高真空要求控制。腔体与供气管路经气密检测与保压验证，满足谐振腔、喷管的高真空气密指标；D₂、F₂、He 等介质由多路高纯供气单元精确配比后送入。反应后的含氟、含氘尾气进入高温中和与吸附单元处理，配合现场洗消流程实现安全排放。