XZ / CZH 系列循环再生式净化机（闭环工作腔室尾气纯化回用）
循环再生式净化机 XZ / CZH 系列
密闭腔室尾气纯化后直接回送，氦氖氪氙等高价值气体循环再用，节省 80% 以上用气成本。
技术规格
适用气体
Ar（氩）、N₂（氮）、He（氦）、H₂（氢）、O₂（氧）、Ne（氖）、Xe（氙）、Kr（氪）
回收原气要求
纯度 ≥ 99.9%；允许杂质：烃类 ≤ 60 ppm，H₂ ≤ 1000 ppm 或 O₂ ≤ 1000 ppm，H₂O ≤ 1000 ppm
循环输出纯气
纯度 ≥ 99.9998%；残余 O₂ ≤ 1 ppm，H₂O ≤ 2 ppm（露点 ≤ -72℃），尘埃粒子（≥0.3μm）3~5 个/升
工作压力 / 流量
0 ~ 1.0 MPa / 1 ~ 500 Nm³/h（按密闭腔室容积与换气倍率定制）
型号序列
CZH-C半自动循环型
CZH-Z全自动循环型
