惰性气体纯化器 CZA-4N / FX-Z

Ar（氩）、He（氦）、Ne（氖）、Kr（氪）、Xe（氙）

纯度 ≥ 99.9%（一般瓶装纯氩、液氩、瓶装氦气）；允许杂质 O₂ < 200 ppm，H₂O < 1000 ppm，N₂ < 200 ppm

纯度 ≥ 99.9999%；残余 O₂ ≤ 0.2 ppm，H₂O ≤ 1 ppm（即露点 ≤ -76℃），N₂ ≤ 0.2 ppm，CO + CO₂ ≤ 0.1 ppm，尘埃粒子数（≥ 0.3 μm）3 ~ 5 个/升

0 ~ 1.0 MPa / 1 ~ 200 Nm³/h（可根据用户要求设计制造）